Popis
Popis
MOCVD grafitový susceptor je kritickým komponentom v systémoch metal{0}}organického chemického nanášania pár (MOCVD). Slúži ako vysokoteplotná, tepelne vodivá platforma navrhnutá tak, aby bezpečne držala a rovnomerne zahrievala polovodičové substráty počas epitaxného rastu tenkých vrstiev.
balenie a dodanie
Balenie drevenej krabice
vlastnosť
- Vynikajúca tepelná vodivosť pre rýchly a rovnomerný prenos tepla
- Vysoká mechanická pevnosť a rozmerová stálosť v extrémnych podmienkach
- Hladký, presne opracovaný povrch pre stabilné uloženie substrátu
- Navrhnuté na ovplyvnenie dynamiky prúdenia plynu a teplotných gradientov
výhodu
- Zaisťuje rovnomernú hrúbku filmu a vynikajúcu kryštalickú kvalitu v epi{0}}vrstve
- Umožňuje vysokú opakovateľnosť procesu a výťažnosť vďaka stabilnej regulácii teploty substrátu
- Predlžuje životnosť a znižuje kontamináciu časticami vďaka odolnosti proti korózii
- Zachováva štrukturálnu integritu napriek opakovaným tepelným cyklom, čím zaisťuje spoľahlivosť procesu
aplikácie
- Používa sa predovšetkým v reaktoroch MOCVD na epitaxný rast zložených polovodičových vrstiev (napr. GaN, GaAs, InP) na substrátoch, ako je kremík, karbid kremíka alebo zafír.
- Nevyhnutné na výrobu optoelektronických zariadení (LED, laserové diódy) a vysokofrekvenčných (RF) polovodičov.
Populárne Tagy: grafitový susceptor, Čína výrobcovia grafitových susceptorov, dodávatelia, továreň